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空氣彈簧隔振系統(tǒng)的剛度和阻尼
橡膠空氣彈簧的剛度
彈性空氣彈簧的剛度設(shè)為k,隔振系統(tǒng)的阻尼系數(shù)為c怎么測(cè)空氣彈簧的剛度和阻尼,彈簧下的基礎(chǔ)為剛性基礎(chǔ),彈簧隔振器的動(dòng)力學(xué)模型。它代表了壓印光刻機(jī)連接到橡膠空氣彈簧并固定在剛性基礎(chǔ)上的隔振問(wèn)題。對(duì)于外部運(yùn)動(dòng)位移xs振源的激勵(lì),橡膠空氣彈簧起隔振作用。
實(shí)際隔振系統(tǒng)的質(zhì)量m由壓印光刻機(jī)、大理石板、粘彈性阻尼材料、水泥地基連接鋼板、空氣彈簧等組成。系統(tǒng)阻尼大,故設(shè)置隔離5Hz以上的振動(dòng)位移干擾。為滿(mǎn)足隔振系統(tǒng)的固有頻率fn=1Hz的要求,對(duì)空氣彈簧剛度和系統(tǒng)固有頻率進(jìn)行了選取,必須對(duì)其剛度進(jìn)行選取??紤]到簡(jiǎn)便易行,暫不考慮阻尼的影響,所以隔振系統(tǒng)的固有頻率??諝鈴椈蓞?shù)估計(jì)隔振系統(tǒng)的固有頻率0.6Hz小于1Hz,結(jié)果滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求。
通過(guò)對(duì)實(shí)際隔振系統(tǒng)進(jìn)行振動(dòng)試驗(yàn),得到自由振動(dòng)幅值衰減曲線(xiàn)。根據(jù)隔振系統(tǒng)的時(shí)域自由振動(dòng)曲線(xiàn),通過(guò)頻譜分析可以得到隔振系統(tǒng)的頻譜特性,基頻為0.8Hz,滿(mǎn)足小于1Hz的要求,實(shí)驗(yàn)結(jié)果與理論估計(jì)0.6Hz非常接近,說(shuō)明理論估計(jì)是可靠的。空氣彈簧隔振器可以滿(mǎn)足低頻隔振的要求。隔振設(shè)計(jì)理論分析結(jié)果與實(shí)測(cè)結(jié)果基本一致怎么測(cè)空氣彈簧的剛度和阻尼,表明了理論分析的正確性。該工作對(duì)實(shí)際工程問(wèn)題具有參考價(jià)值。